半导体集成电路制造所需要的高纯气体主要分为两大类：
1.普通气体：也叫大宗气体，主要有：H2 、N2 、O2 、Ar 、He等。
2.特种气体：主要指各种掺杂用气体、外延用气体、离子注入用气体、刻蚀用气体等。
半导体制造用气体按照使用时的危险性分类：
1.可燃、助燃、易然易暴气体：H2 、CH4、H2S、NH3 、SiH4、PH3 、B2H6、SiH2CL3、CLF3、SiHCL3等
2.有毒气体：AsH3、PH3 、B2H6等
3.助燃气体：O2 、N2O、F2 、HF等
4.窒息性气体：N2 、He 、CO2、Ar等
5.腐蚀性气体：HCL 、PCL3 、POCL3 、HF、SiF4、CLF3等
任何一种产品，其实很多时候不是产品自身质量问题，而是由于使用者操作不当或者维护不周造成仪器寿命缩短，从而引起产品质量问题，所以呢，客户一定要按照仪器的操作说明和使用维护来使用，今天我们就来分析下气体探测器在使用中客户的错误认知。
第l个错误认知：探测器安装完毕，尤其是可燃气体探测器，采用火机现场测试或者高浓度气体测试，很容易造成传感器死机或者熏死的情况。
在使用中很多客户在验收时喜欢随意用打火机来测试，其实这样是非常不标准的，严格来说就是错误的验证方法，可燃气体检测报警器的检测范围为0~100%LEL，即1个爆i炸下限(以甲烷为例为0~5%vol)，而打火机气体为高纯度丁烷，远超可燃气体检测仪的检测范围!加上很多客户离的太近，瞬间的高浓度会让传感器达到满量程，反应不过来，也就是行业里边说的死机状况。轻则使传感元件的化学活性早期衰减或失活，导致检测精度、灵敏度下降;重则烧断铂金丝，传感器报废。要注意的是，高浓度气体冲击导致的传感器失效，厂家是不质保的，需自费更换。 有毒气体同理，也应避免高浓度气体冲击，如果可燃气体需要检测，现场没有标准气体，建议可以用高浓度白酒简单测试，不要盲目去测试，一定要咨询专业的技术人员之后决定。
气体的监测和分析是检查气体质量、确保用气点或用气设备能所用高纯气体的重要手段，也是保证安全生产的重要措施。高纯气体的监测与分析，只有采用先进的分析方法和精密的分析仪器，才能获得准确的分析数据，气体监测和分析的重要性，随着晶片的几何结构缩小，集成电路集成度的不断提高，即使有极微量的气态杂质的沾污和的尘埃污染，也会给生产带来严重的破坏性。
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